玻璃蓋板無(wú)塵車(chē)間有五個(gè)特性:
(l)耐久性;(2)成本;(3)適應(yīng)性;(4)可維 護(hù)性;(5)清洗。
(1)耐久性:玻璃蓋板無(wú)塵車(chē)間要有符合環(huán)境、玻璃蓋板無(wú)塵車(chē)間內(nèi)部的清洗溶液及振動(dòng)、設(shè)備、空 氣過(guò)濾系統(tǒng)的耐久材料。而耐久性,同時(shí)也依賴無(wú)塵室等級(jí)來(lái)建造。
(2)清洗:在制藥和生物工學(xué)工 業(yè),玻璃蓋板無(wú)塵車(chē)間的墻壁需要有容易被清洗和擦拭,直到防止濾過(guò)性病毒或細(xì)菌的污染之特性。在 biotech市場(chǎng),清洗真正地是一個(gè)最重要的企業(yè)。
(3)成本:許多半導(dǎo)體公司的口號(hào)是較便宜和較好 的。然而"錢(qián)"將成為一個(gè)很重要的考慮因素。
(4)適應(yīng)性:一些廠商認(rèn)為適應(yīng)性可節(jié)省一筆金錢(qián),而 適應(yīng)性意指系統(tǒng)可任意移動(dòng)或改變而不會(huì)招致極大的損失。
(5)維護(hù)性:對(duì)玻璃蓋板無(wú)塵車(chē)間而言,較嚴(yán)格要 求的部分為地板、天花板,凈化燈以及墻壁的部分。至于維修的問(wèn)題,對(duì)材料的選擇是否容易清潔性 及維修性都應(yīng)有其優(yōu)先級(jí)。